CNC抛光机和大多数抛光机一样是由底座、抛光转台、抛光滚台、抛光磨削头、抛光罩及盖等基本元件组成的。抛光磨头固定在底座上，固定抛光盘用的锥套通过螺钉与电动机轴相连。抛光织物通过套圈紧固在抛光盘上，电动机通过底座上的开关接通电源起动后，便可用手对试样施加压力在转动的抛光盘上进行抛光。

抛光过程中加入的抛光液可通过固定在底座上的塑料盘中的排水管流入置于抛光机旁的方盘内。

抛光罩及盖可防止灰土及其他杂物在机器不使用时落在不锈钢封头、罐体等抛光工件上而影响使用效果。

CNC抛光机设备操作的关键是要设法得到大的抛光速率，以便尽快除去磨光时产生的损伤层。同时也要使抛光损伤层不会影响观察到的组织，即不会造成假组织。前者要求使用较粗的磨料，以保证有较大的抛光速率来去除磨光的损伤层，但抛光损伤层也较深；后者要求使用最细的材料，使抛光损伤层较浅，但抛光速率低。