平板抛光机镜面加工技术是一种集现代机械、光学、电子计算机、测量和材料于一体的新型综合性加工技术，已成为国家科技发展水平的重要标志。

　　随着各种新型功能陶瓷材料的成功开发，这些材料广泛应用于各种高性能电子元件、光学、信息系统等领域，要求元件和部件的加工精度越来越高，有的甚至要求达到纳米或更高的加工精度和无损表面加工质量。对于抛光，主要是在保持磨削平面度良好的前提下，去除工件表面的微小凸起和表面损伤层，以获得镜面光度。因此，整个工件表面需要全面抛光。反映在速度上，即工件表面各点的相对速度应随时保持恒定。工件是不变形的刚体，抛光盘是根据工件加工表面形状变形的弹性体。此时，可以忽略两者之间的磨粒和加工液的厚度和形状变化，认为工件与抛光盘完全紧密；当工件尺寸大于抛光盘半径或偏心距离过大时，工件会露出抛光盘，部分表面不能始终与抛光盘接触；当研磨或抛光过程中工件材料的平行度误差超过允许范围时，需要修改其平行度。

　　在平板抛光机的镜面抛光过程中，可以认为工件的去除量主要取决于磨削路径的长度，因此可以更准确地控制工件表面的磨削路径长度。